Gen6^TM
 

設(shè)備分類：實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)型

該設(shè)備的技術(shù)和人體工程學(xué)設(shè)計(jì)讓超聲顯微成像系統(tǒng)得以發(fā)揮出好的水平。
它廣泛的應(yīng)用能勝任眾多的需求。不管是電容、倒裝芯片、疊層晶元、BGA、PCB...還是制程優(yōu)化、研發(fā)、失效分析、小批量生產(chǎn)等，它都能滿足需求。先進(jìn)的SONOSCAN技術(shù)如 VRM^TM樣品虛擬建模脫機(jī)掃描模式、加速掃描、FDI^TM頻域成像模式等讓超聲顯微成像技術(shù)的優(yōu)勢(shì)日趨明顯。
除了SONOSCAN各種先進(jìn)功能外，該設(shè)備還為用戶開(kāi)放了自定義空間，讓用戶使用起來(lái)更方便舒適，并幫助客戶能夠生產(chǎn)出高質(zhì)量的產(chǎn)品。

特色功能：
 

• 帶動(dòng)態(tài)平衡塊和線性馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的掃描塔使得圖像采集更清晰

• ESD操作臺(tái)面，上乘人體工程學(xué)和防靜電設(shè)計(jì)

• 簡(jiǎn)易裝載臺(tái)可容納JEDEC托盤(pán)和300mm晶圓

• 基于64位win 10操作系統(tǒng)，支持多國(guó)語(yǔ)言

• 精準(zhǔn)的掃描臺(tái)和樣品固定架

• TurboSpeed^TM加速掃描功能

• PolyGate? 功能，每個(gè)通道可設(shè)置多達(dá)100個(gè)Gate，能同時(shí)收集100層感興趣的區(qū)域數(shù)據(jù)，包括能量、色譜、波形等，并生成100張圖像

• Multi-Gate?和Probing-Gate?功能允許單層或多層聚焦成像

• SonoSimulator^TM 功能使薄層、多層樣品分析變得容易，例如堆疊芯片

• 特有STaR^TM 模式能同時(shí)獲得反射和透射兩種圖像

• Quantitative B-Scan Analysis Mode (Q-BAM)? 基于B-Scan提供切層的極性,幅值和深度數(shù)據(jù)

• 可選Digital Image Analysis (DIA)?數(shù)字圖像分析自動(dòng)計(jì)算出缺陷大小、數(shù)目、多少和分布

• 可選Virtual Rescanning Mode (VRM)? 樣品虛擬建模脫機(jī)掃描模式

• 可選Waterfall? 流水式探頭和在線溫度控制

• 可選FDI^TM頻域成像模式